Ag摻雜對(duì)ZnO薄膜的光電性能影響

采用超聲噴霧熱分解法在石英襯底上以醋酸鋅水溶液為前驅(qū)體,以硝酸銀水溶液為Ag摻雜源,以高純O2為載氣生長(zhǎng)了Ag摻雜ZnO(ZnO∶Ag)薄膜.研究了Ag摻雜ZnO薄膜的表面結(jié)構(gòu)、電學(xué)和光學(xué)性質(zhì).結(jié)果表明所得ZnO∶Ag薄膜表面結(jié)構(gòu)良好,掃描電子顯微鏡(SEM)測(cè)試表明薄膜表面光滑平整,結(jié)構(gòu)致密均勻;在室溫光致發(fā)光(PL)光譜中檢測(cè)到很強(qiáng)的近帶邊紫外發(fā)光峰;透射光譜中觀測(cè)到非常陡峭的紫外吸收截止邊和較高的可見(jiàn)光區(qū)透過(guò)率,表明薄膜具有較高的晶體質(zhì)量與較好的光學(xué)特性;霍爾效應(yīng)測(cè)試表明,在550 ℃下獲得了p型導(dǎo)電的ZnO∶Ag薄膜.

作 者： 王經(jīng)緯 邊繼明 梁紅偉 孫景昌 趙澗澤 杜國(guó)同 WANG Jing-wei BIAN Ji-ming LIANG Hong-wei SUN Jing-chang ZHAO Jian-ze DU Guo-tong   作者單位： 大連理工大學(xué),三束材料改性國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室及物理與光電工程學(xué)院,遼寧,大連,116024  刊 名： 發(fā)光學(xué)報(bào)  ISTIC PKU 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE  年，卷(期)： 2008 29(3)  分類號(hào)： O472.3 O482.31  關(guān)鍵詞： ZnO∶Ag薄膜   超聲噴霧熱分解   p型摻雜   Hall效應(yīng)  

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