全息光柵光刻膠掩模槽形演化及其規(guī)律研究

為了控制全息光柵光刻膠掩模槽形,運(yùn)用曝光模型和顯影模型模擬了掩模的槽形形成過程和變化規(guī)律.實(shí)驗(yàn)對比了不同曝光量,不同顯影濃度,不同空頻條件下的掩模槽形,特別是占寬比(光柵齒寬度與光柵周期的比)的情況.實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,實(shí)際槽形與模擬槽形很接近.模擬和實(shí)驗(yàn)均發(fā)現(xiàn),在大曝光量、高濃度顯影、高空頻的光柵條件下所得槽形占寬比較小,槽深主要由原始膠厚決定.

作 者： 陳剛 吳建宏 劉全 CHEN Gang WU Jiang-hong LIU Quan   作者單位： 陳剛,CHEN Gang(南京信息職業(yè)技術(shù)學(xué)院,微電子工程系,南京,210046)

吳建宏,劉全,WU Jiang-hong,LIU Quan(蘇州大學(xué),信息光學(xué)工程研究所,江蘇,蘇州,215006) 

刊 名： 光學(xué)技術(shù)  ISTIC PKU 英文刊名： OPTICAL TECHNIQUE  年，卷(期)： 2008 34(1)  分類號： O436.1  關(guān)鍵詞： 衍射光柵   全息光柵掩模   槽形模擬   占寬比控制  

【全息光柵光刻膠掩模槽形演化及其規(guī)律研究】相關(guān)文章：

人工自然及其演化研究04-26

廣東省枯水徑流時間演化規(guī)律的研究04-25

探測波導(dǎo)全息光柵傅里葉變換光譜的新方法04-27

嵌入式光纖光柵傳感器應(yīng)力傳遞規(guī)律研究04-26

佛教鏡喻及其生成演化04-26

新型聚氨酯微球制備及其藥物釋放規(guī)律的研究04-27

兩種不同槽形氣體端面密封泄漏量的試驗(yàn)研究04-27

用DMD光學(xué)再現(xiàn)全息圖的研究04-26

松潘黃龍鈣華演化趨勢研究04-27

東營黃河公路大橋光纖光柵傳感網(wǎng)絡(luò)研究04-27