基于非相干光反饋的表面輪廓測量仿真研究

對一種基于非相干光反饋的表面輪廓測量方法,對其進行了理論仿真研究.建立了基于非相干光反饋表面輪廓測量的系統(tǒng)模型,分析了不同反饋光耦合強度的輸出特性,系統(tǒng)的穩(wěn)定狀態(tài),注入電流對系統(tǒng)的影響,以及反饋強度和表面深度的關系.結果證明該方法的可行性,研究結果對系統(tǒng)參數(shù)設計具有參考價值.

作 者： 許炯 馬軍山 胡菊菊 XU Jiong MA Junshan HU Juju   作者單位： 上海理工大學,光電信息與計算機工程學院,上海,200093  刊 名： 光學儀器  ISTIC 英文刊名： OPTICAL INSTRUMENTS  年，卷(期)： 2009 31(6)  分類號： O43  關鍵詞： 非相干光反饋   表面輪廓測量   非接觸測量   仿真研究  

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