直流等離子體法中脫膜開裂的金剛石膜組織結(jié)構(gòu)分析

為了解決用直流等離子體噴射法制備金剛石膜在脫膜過程中膜體開裂的問題,本文對(duì)3組脫膜開裂的金剛石膜組織結(jié)構(gòu)進(jìn)行了分析,發(fā)現(xiàn)由熱應(yīng)力作用產(chǎn)生的裂紋形貌隨沉積溫度的不同而呈現(xiàn)網(wǎng)狀、河流狀和環(huán)狀,裂紋尖端的膜體具有最小的Raman 譜峰半高寬值.在所研究的溫度范圍內(nèi),膜體斷口都是穿晶斷裂和沿晶斷裂的混合斷口,而且斷口面中的占優(yōu)晶面都是{111}晶面.X射線和Raman譜結(jié)果還表明沉積溫度愈高,膜體中的殘余應(yīng)力愈大.

作 者： 陳廣超 李成明 張恒大 楊膠溪 佟玉梅 唐偉忠 呂反修   作者單位： 北京科技大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院,北京,100083  刊 名： 人工晶體學(xué)報(bào)  ISTIC EI PKU 英文刊名： JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS  年，卷(期)： 2003 32(5)  分類號(hào)： O484  關(guān)鍵詞： 金剛石膜   裂紋   組織   晶面   直流等離子體噴射  

【直流等離子體法中脫膜開裂的金剛石膜組織結(jié)構(gòu)分析】相關(guān)文章：

SMBR中不同膜組件形式的膜通量變化數(shù)學(xué)模型分析04-25

臭氧對(duì)膜法水處理中膜污染的影響04-26

膜生物反應(yīng)器中的膜污染研究綜述04-26

污水回用系統(tǒng)中膜元件污染分析及處理04-26

生物膜中群體感應(yīng)因子細(xì)菌的分離及成膜能力04-25

Fe/Mo多層膜的微觀結(jié)構(gòu)與應(yīng)力研究04-26

反滲透膜經(jīng)濟(jì)壽命分析04-27

淹沒式膜生物反應(yīng)器膜面泥餅層的微結(jié)構(gòu)特征04-26

次臨界膜通量下膜污染研究04-27

混凝土生態(tài)膜掛膜實(shí)驗(yàn)研究04-25