SOG技術(shù)及其新進(jìn)展

SOG材料與傳統(tǒng)SOI材料一樣,擁有許多優(yōu)良的電學(xué)性能,例如SOG電路具有高開關(guān)速度、高密度、低壓和低功耗等優(yōu)點(diǎn).同時(shí)由于SOG材料具有突出的光電性能,在太陽(yáng)能電池和液晶顯示器等光電設(shè)備中也有著廣泛的應(yīng)用,引起了人們?cè)絹碓綇V泛的關(guān)注.本文綜述了SOG材料的特點(diǎn)和應(yīng)用,著重介紹了SOG材料的各種制備方法和新進(jìn)展.

作 者： 宋華清 石兢 林成魯   作者單位： 宋華清(中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所,上海,200050;武漢大學(xué)物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院,湖北,武漢,430072)

石兢(武漢大學(xué)物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院,湖北,武漢,430072)

林成魯(中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所,上海,200050) 

刊 名： 功能材料  ISTIC EI PKU 英文刊名： JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS  年，卷(期)： 2003 34(3)  分類號(hào)： O484.1  關(guān)鍵詞： SOG   SOI   外延層轉(zhuǎn)移   智能剝離  

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