改進(jìn)的MEMS陀螺靜態(tài)誤差模型及標(biāo)定方法

靜態(tài)干擾力矩造成的陀螺角速度測量誤差是MEMS(Micro Electromechanical System)陀螺主要的誤差源之一,為了增強(qiáng)MEMS陀螺的抗干擾能力,根據(jù)外框架驅(qū)動(dòng)式MEMS陀螺工作原理、具體結(jié)構(gòu),針對比力引起的干擾力矩,采用解析的方法分析了陀螺靜態(tài)誤差,結(jié)合試驗(yàn)法確定了陀螺靜態(tài)誤差數(shù)學(xué)模型,討論了各誤差項(xiàng)的物理起因及誤差影響大小,論證了靜態(tài)多位置法不能標(biāo)定陀螺與比力平方有關(guān)誤差項(xiàng),提出了改進(jìn)的陀螺靜態(tài)誤差數(shù)學(xué)模型,設(shè)計(jì)了10位置靜態(tài)誤差標(biāo)定方法.試驗(yàn)結(jié)果表明:補(bǔ)償后陀螺在10個(gè)靜態(tài)位置的誤差平均值和均方差分別為補(bǔ)償前的0.83%和40%,提高了陀螺實(shí)用精度,為MEMS陀螺的精確標(biāo)定、補(bǔ)償提供了理論依據(jù).

作 者： 李建利 房建成 LI Jian-li FANG Jian-cheng   作者單位： 北京航空航天大學(xué)儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院,北京,100083  刊 名： 宇航學(xué)報(bào)  ISTIC PKU 英文刊名： JOURNAL OF ASTRONAUTICS  年，卷(期)： 2007 28(6)  分類號： O318.3 V241.6  關(guān)鍵詞： 微機(jī)電陀螺   靜態(tài)誤差   比力   標(biāo)定   補(bǔ)償  

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