厚度對溶膠-凝膠法生長的ZnO薄膜光學(xué)性質(zhì)的影響

利用sol-gel旋涂法在普通蓋玻片上生長了ZnO薄膜,用光學(xué)透射譜、光致發(fā)光譜和原子力顯微術(shù)研究了ZnO薄膜的光學(xué)性質(zhì)和表面形貌. 結(jié)果發(fā)現(xiàn),在一定薄膜厚度范圍內(nèi),紫外發(fā)光帶和光學(xué)吸收邊均隨著薄膜厚度的減小而單調(diào)藍(lán)移,且紫外發(fā)光強(qiáng)度遞增,峰寬變大. 綜合光致發(fā)光譜、光學(xué)透射譜和薄膜表面形貌,對薄膜中晶粒尺寸、應(yīng)力、缺陷等對光學(xué)性質(zhì)的影響進(jìn)行了討論.

作 者： 吳穎超 張松海 婁輝 張偉風(fēng) WU Ying-chao ZHANG Song-hai LOU Hui ZHANG Wei-feng   作者單位： 吳穎超,WU Ying-chao(河南大學(xué),物理與電子學(xué)院,微系統(tǒng)物理研究所,河南,開封,475001;漯河職業(yè)技術(shù)學(xué)院,機(jī)電工程系,河南,漯河,462000)

張松海,ZHANG Song-hai(安陽鋼鐵公司職工大學(xué),河南,安陽,455004)

婁輝,張偉風(fēng),LOU Hui,ZHANG Wei-feng(河南大學(xué),物理與電子學(xué)院,微系統(tǒng)物理研究所,河南,開封,475001) 

刊 名： 河南大學(xué)學(xué)報（自然科學(xué)版）  ISTIC PKU 英文刊名： JOURNAL OF HENAN UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)  年，卷(期)： 2007 37(4)  分類號： O472.3  關(guān)鍵詞： ZnO薄膜   厚度   光學(xué)性質(zhì)   應(yīng)力  

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