氬離子激光固化環(huán)氧樹脂制作三維微結(jié)構(gòu)

利用激光束進(jìn)行三維成像是通過逐層光引發(fā)聚合形成宏觀尺度的三維實(shí)體. 最近出現(xiàn)的激光全息光刻技術(shù)是利用激光束的干涉產(chǎn)生三維全息圖案, 讓感光樹脂在全息圖案中曝光, 從而一次形成三維周期有序微結(jié)構(gòu). 通過調(diào)節(jié)激光干涉及波長(zhǎng)可控制三維結(jié)構(gòu)的形狀及尺寸.利用該技術(shù)獲得亞微米尺度上周期性重復(fù)的三維微結(jié)構(gòu), 可用于制作三維光子晶體[1,2]等具有獨(dú)特性能的聚合物材料.本文用鐵芳烴化合物與特種環(huán)氧樹脂配制成陽離子型可見光固化樹脂, 在氬離子激光器產(chǎn)生的多束可見連續(xù)激光相干形成的空間干涉光場(chǎng)中曝光, 成功地制備出亞微米量級(jí)的三維周期有序結(jié)構(gòu). 用可見連續(xù)激光進(jìn)行全息法微制作, 與紫外光聚合[1]相比較, 其優(yōu)點(diǎn)是可見連續(xù)光的光路可調(diào)節(jié), 所需光功率非常小, 適合光路擴(kuò)束后大面積制作微小周期結(jié)構(gòu).

作 者： 曾兆華 王霞 楊建文 汪河洲 陳用烈   作者單位： 曾兆華,楊建文,陳用烈(中山大學(xué)化學(xué)與化學(xué)工程學(xué)院高分子研究所)

王霞,汪河洲(超快速激光光譜學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,廣州,510275) 

刊 名： 高等學(xué)校化學(xué)學(xué)報(bào)  ISTIC SCI PKU 英文刊名： CHEMICAL JOURNAL OF CHINESE UNIVERSITIES  年，卷(期)： 2002 23(6)  分類號(hào)： O631  關(guān)鍵詞： 氬離子激光   全息光刻技術(shù)   感光樹脂   微結(jié)構(gòu)  

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