厚度效應對Pb(Zr0.53Ti0.47)O3薄膜微結(jié)構(gòu)、鐵電、介電性能的影響

用改進的溶膠-凝膠法在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)襯底上制備了不同厚度的高度(111)取向的Pb(Zr0.53Ti0.47)O3薄膜.運用X射線衍射(XRD)和原子力顯微鏡(AFM)分析了薄膜的微結(jié)構(gòu),原子力顯微鏡表明厚度為0.3μm和0.56μm的PZT薄膜的晶粒尺寸和表面粗糙度分別為0.2～0.3μm、2～3μm和0.92nm、34nm.0.3μm和0.56μm PZT薄膜的剩余極化(Pr)和矯頑場(Ec)分別為32.2μC/cm2、79.9kV/cm, 27.7μC/cm2 、54.4 kV/cm;在頻率100KHz時,薄膜的介電常數(shù)和介電損耗分別為539、0.066,821、0.029.

作 者： 梁龍 吳斌 楊德軍   作者單位： 梁龍(北京航空材料研究院,先進復合材料國防科技重點實驗室,北京,100095)

吳斌(二炮北京軍代局,北京,100083)

楊德軍(二炮駐699廠軍代室,北京,100083) 

刊 名： 光學精密工程  ISTIC EI PKU 英文刊名： OPTICS AND PRECISION ENGINEERING  年，卷(期)： 2002 10(5)  分類號： O484.4  關(guān)鍵詞： PZT薄膜   鐵電性質(zhì)   介電性質(zhì)  

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