衍射頻譜法測光柵膜層厚度

根據(jù)傅立葉光學理論從光柵的衍射頻譜中可以反推光柵本身的多種信息,包括其形貌特征.利用矩形相位光柵的傅立葉變換,推導出零級和一級衍射光強和矩形相位光柵膜層厚度之間的函數(shù)關系,據(jù)此可在測得零級和一級次光強后,推算出光柵膜層厚度.以臺階儀作為標準,該方法的測量誤差在4%以內(nèi).

作 者： 李何立 文學金 曹向群 林斌   作者單位： 光學儀器國家重點實驗室,國家光學儀器工程中心,浙江大學,浙江,杭州,310027  刊 名： 光電工程  ISTIC PKU 英文刊名： OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING  年，卷(期)： 2004 31(5)  分類號： O438.2 O484.5  關鍵詞： 膜厚測量   相位光柵   傅立葉光學   衍射頻譜  

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