特種陶瓷在半導(dǎo)體工業(yè)中的應(yīng)用

由于具備優(yōu)越的機電和物理性能,特種陶瓷在半導(dǎo)體工業(yè)中得到日益廣泛的應(yīng)用.隨著集成電路(Inte-grated Circuit,IC)向小型化、高速化和低成本方向發(fā)展,半導(dǎo)體設(shè)備制造商越來越依賴特種陶瓷部件才能使他們的設(shè)備滿足IC工業(yè)的要求.用于半導(dǎo)體工業(yè)的特種陶瓷多數(shù)仍然采用傳統(tǒng)的制備工藝,最大的不同是要求特種陶瓷具有很高的純度,有時還對特種陶瓷的電性能要求苛刻.主要產(chǎn)品有各種密封環(huán)和圈,拱形蓋,各種擴散爐襯里,各種銷釘,晶片基板和襯托器,端面效應(yīng)器,真空卡盤,見圖1所示.

作 者： 萬冬梅   作者單位： 佛山市陶瓷研究所,528031  刊 名： 佛山陶瓷  英文刊名： FOSHAN CERAMICS  年，卷(期)： 2000 ""(5)  分類號： F4  關(guān)鍵詞：  

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