氧化鋅半導(dǎo)體薄膜在原子氧探測中的應(yīng)用

氧化鋅半導(dǎo)體薄膜是用于空間原子氧探測的一種敏感材料.采用脈沖激光沉積方法(PLD)在(001)取向的藍(lán)寶石基底上制備出了高質(zhì)量的氧化鋅薄膜,并在地面原子氧模擬設(shè)備中考察了其原子氧敏感特性.結(jié)果表明,氧化鋅薄膜對(duì)原子氧有較好的敏感特性,并且在受熱后導(dǎo)電性能可以恢復(fù),滿足重復(fù)探測的要求.

作 者： 王云飛 陳學(xué)康 王蘭喜 李中華 楊生勝 鄭闊海 馮展祖 高欣 Wang Yunfei Chen Xuekang Wang Lanxi Li Zhonghua Yang Shengsheng Zheng Kuohai Feng Zhanzu Gao Xin   作者單位： 蘭州物理研究所,真空低溫技術(shù)與物理國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,蘭州,730000  刊 名： 航天器環(huán)境工程  ISTIC 英文刊名： SPACECRAFT ENVIRONMENT ENGINEERING  年，卷(期)： 2009 26(2)  分類號(hào)： V416.5 TQ132.4+1  關(guān)鍵詞： 氧化鋅薄膜   制備   原子氧   探測  

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